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                半导体静态参数测量系统的产品介绍

                更新时间:2024-12-25      点击次数:509

                一、概述:

                       半导体静态参数测量系统,集多种测量功能一体,可以精准测量不同封装类型功率器件(如 MOSFET、BJT、IGBT,以及SiC、GaN第三代半导体等) 的静态参数,具有高电压和大电流特性、μΩ级导通电阻精准测量、纳安级漏电流测量能力等特点。支持高压模式下功率器件结电容测试, 如输入电容、输出电容、反向传输电容等。


                电容等1.png

                电容等2.png


                二、系统组成

                       半导体静态参数测量系统,主要包括测试主机、测 试线、测试夹具、电脑、上位机软件,以及相关测试配件等构成。整套系统采??钛科?主开发的测试主机,内置多种规格电压、电流、 电容测量单元???。结合专?上位机测试软件,可根据测试项?需要,设置不同的电压、电流等参数,以满?不同测试需求。测试数据可保 存与导出,并可?成I‐V以及C‐V特性曲线。此外,测试主机可与探针台 搭配使?,实现晶圆级芯?测试。


                测试3.png


                三、半导体静态参数测量系统的主要应用

                1、功率半导体的来料检验

                2、功率半导体的静态参数验证或标定 

                3、实验室的器件评估

                4、功率半导体的?产检验和筛选

                5、半导体器件的?艺改进评估

                6、半导体器件的失效分析

                7、半导体器件的教育科研


                   

                四、硬件优势

                      功率器件静态参数测试系统,配置有多种测量单元???, ??榛纳杓撇馐?法灵活,能够极??便?户添加或升级测量???, 适应测量功率器件不断变化的需求。

                1、高电压达8000V (扩展至10kV) 

                2、大电流达6000A (多??椴⒘?/span>

                3、纳安级漏电流uΩ级导通电阻

                4、高精度测量0.1%

                5、??榛渲每商砑踊蛏恫饬康ピ?/span>

                6、测试效率高、自动切换、一键测试

                7、兼容多种封装根据测试需求定制夹具


                五、测试夹具

                       针对市面上不同封装类型的硅基功率半导体,IGBT、SiC、MOS、 GaN等产品,力钛科提供整套测试夹具解决方案,可用于T0单管,半桥模组等产品的测试,后期可根据客户需求来定制化相对应封装。


                封装7.png


                六、软件特点:

                1、测试主机内部采用的电压、电流测量单元,均采用多量程设计,测试精度为0.1%

                2、栅极‐发射极,支持30V/10A脉冲电流输出与测试,可测试低至皮安级漏电流

                3、集电极‐发射极,支持6000A高速脉冲电流,典型上升时间为15μs, 且具备电压高速同步采样功能

                4、支持8000V电压输出,且自带漏电流测量功能

                5、电容特性测试包括输入电容、输出电容、以及反向传输电容测试,频率支持1MHz


                七、软件界面

                界面8.png

                八、测试器件类型及项目

                项目9.png


                九、测试原理




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